材料成分分析可分為三大方面:材料結(jié)構(gòu)的測(cè)定、材料形貌的觀察和材料成分的分析。材料成分分析主要是通過(guò)各項(xiàng)檢測(cè)手段對(duì)樣品的成分進(jìn)行定性定量的分析。
以下介紹幾種常見(jiàn)的材料成分分析方法:
1、化學(xué)分析法:利用物質(zhì)化學(xué)反應(yīng)為基礎(chǔ)的分析方法,稱為化學(xué)分析法。每種物質(zhì)都有其獨(dú)特的化學(xué)特性,我們可以利用物質(zhì)間的化學(xué)反應(yīng)并將其以一種適當(dāng)?shù)姆绞竭M(jìn)行表征,用以指示反應(yīng)的進(jìn)程,從而得到材料中某些組合成分的含量;
2、原子光譜法:原子光譜是原子吸收或發(fā)出光子的強(qiáng)度關(guān)于光子能量(通常以波長(zhǎng)表示)的圖譜,可以提供關(guān)于樣品化學(xué)組成的相關(guān)信息。原子光譜分為三大類:原子吸收光譜、原子發(fā)射光譜和原子熒光光譜;
3、X射線能量色散譜法(EDX):EDX常與電子顯微鏡配合使用,它是測(cè)量電子與試樣相互作用所產(chǎn)生的特征X射線的波長(zhǎng)與強(qiáng)度,從而對(duì)微小區(qū)域所含元素進(jìn)行定性或定量分析。每種元素都有一個(gè)特定波長(zhǎng)的特征X射線與之相對(duì)應(yīng),它不隨入射電子的能量而變化,測(cè)量電子激發(fā)試樣所產(chǎn)生的特征X射線波長(zhǎng)的種類,即可確定試樣中所存在元素的種類。元素的含量與該元素產(chǎn)生的特征X射線強(qiáng)度成正比,據(jù)此可以測(cè)定元素的含量;
4、電子能譜分析法:電子能譜分析法是采用單色光源或電子束去照射樣品,使樣品中電子受到激發(fā)而發(fā)射出來(lái),然后測(cè)量這些電子的強(qiáng)度與能量的分布,從而獲得材料信息。電子能譜的采樣深度僅為幾納米,所以它僅僅是表面成分的反應(yīng);
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