EDS（Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy）能譜分析是一種與掃描電子顯微鏡（SEM）或透射電子顯微鏡（TEM）聯(lián)用的元素分析技術(shù)。
簡單來說，凡是固體、干燥、無揮發(fā)性的，并且能放入電鏡樣品室的材料，基本上都可以進行EDS分析。 它主要用于元素的定性和半定量分析，能夠告訴我們樣品中“有什么元素”以及“大概有多少”。
?一、工作原理?：
高能電子束或X射線照射樣品，激發(fā)樣品原子的內(nèi)層電子
被激發(fā)的電子產(chǎn)生空位，外層電子躍遷填補空位
躍遷過程中釋放出具有特定能量的特征X射線（如鐵的特征X射線能量約為6.4keV，氧約為0.5keV）
通過探測器檢測X射線的能量和強度，確定元素種類及相對含量
二、EDS能譜分析的主要功能
?元素定性分析?：通過測量特征X射線能量確定樣品中存在的元素種類（可分析元素周期表中B-U的元素）
?元素定量分析?：通過測量特征X射線強度計算各元素的相對含量
?微區(qū)成分分析?：配合掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)使用，可對樣品表面微區(qū)進行成分分析
?元素分布成像?：提供樣品中元素的二維分布信息
注：EDS只能測元素種類和含量，不能做化合物結(jié)構(gòu)和種類的判定
三、EDS能譜分析的應(yīng)用領(lǐng)域
| 應(yīng)用鄰域 | 具體應(yīng)用場景 |
| 材料科學(xué) | 合金成分分析、半導(dǎo)體材料摻雜檢測、材料微觀結(jié)構(gòu)分析 |
| 地質(zhì)礦物 | 巖石礦物成分分析、微量元素分布研究 |
| 環(huán)境科學(xué) | 重金屬污染物檢測、環(huán)境樣品分析 |
| 生物醫(yī)學(xué) | 生物組織元素分析、臨床醫(yī)學(xué)研究 |
| 工業(yè)檢測 | 產(chǎn)品質(zhì)量控制、失效分析 |